紫外线是由电磁波组成，紫外线本身所带有的能量与波长有直接关系，即波长越短，能量越大；波长越长，能量越小。UV光氧催化设备通过采用D波段的真空紫外线（波长范围170~184.9nm），照射VOCs有机废气。通过紫外线的照射，使VOCs有机废气发生裂解和分化，化学键断裂，形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）。同时，混合气体中的氧气被紫外线光裂解形成游离的氧原子并进一步与氧分子结合生成臭氧【UV O2→O- O*(活性氧) O* O2→O3(臭氧)】；混合气体中的水蒸气被紫外线光裂解产生羟基【UV H2O→H OH-(羟基) 】，臭氧和羟基具有 强的氧化作用，可将VOCs有机废气裂解产生的原子和基团（甚至是有机气体或恶臭气体）氧化成H2O和CO2等无污染的低分子化合物。另外，利用高能紫外线光束可裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的DNA，再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀菌的目的。

UV光氧废气处理设备净化效果 
根据韩国环境研究所提供的资料显示，在实验室条件下，采用UV光氧催化设备对单一的有机废气或恶臭气体严格控制进气浓度、气量及其他条件时，VOCs有机废气功率充足的情况下，测得UV光氧催化设备废气处理效率均可达到99%以上。但在实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到UV光氧催化设备 适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到UV光氧催化设备净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等这些不利因素，均会影响UV光氧催化设备废气处理效果。UV光氧催化设备在实际使用过程中净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。在各种因素都比较适合的条件下，UV光氧催化设备在实际运行过程中的净化率可以达到90%以上，甚至某些成分的废气净化效率可以达到95%以上甚至更高。很难单纯的确定UV光氧催化设备废气处理效率，正蓝环保公司只能说尽量的去调整影响UV光氧催化设备净化效果的各种因素，尽量提高UV光氧催化设备的净化效率。